森東寶科技帶你了解高低溫真空探針臺詳細參數
型號為CGO-2和CGO-4。這兩款設備的主要技術參數包括腔體尺寸、樣品臺尺寸、觀察窗口尺寸、真空度、探針臂接口、其他接口(電信接口、真空接口、光纖接口、冷源接口)、制冷方式、控制方式、溫度范圍、溫控分辨率、穩定性等。
腔體和樣品臺:CGO-2和CGO-4分別具有2英寸和4英寸的樣品臺尺寸,并采用彈簧壓片方式固定樣品。
觀察窗口:觀察窗口尺寸分別為2英寸和4英寸,用于觀察樣品。
真空度:這兩款設備的真空度均可達到10-6torr,確保測試環境的高純凈度。
探針臂接口:最多可連接6個探針臂接口,滿足多種測試需求。
其他接口:設備提供了電信接口、真空接口、光纖接口和冷源接口,增強了設備的通用性和靈活性。
制冷方式與溫度范圍:采用液氮或液氦制冷,溫度范圍覆蓋77K~450K(CGO-2)和4.5K~450K(CGO-4)。
控制方式:CGO-2采用開循環手動控制方式,而CGO-4則采用閉循環自動控制方式。
顯微鏡與探針座:這兩款設備均配備顯微鏡和探針座,具有X-Y-Z移動行程和結構特點,以及移動精度。此外,顯微鏡還配備了LED環形光源和CCD攝像頭。
探針夾具:提供多種線纜類型、漏電精度和固定方式,并配備多種接頭類型。
探針特性:支持DC-67GHZ的頻率范圍,并具有不同直徑的針尖(從0.2um到100um),以及鎢鋼和鈹銅兩種材質。
真空組件與冷源組件:設備包含分子泵組或機械泵作為真空組件,以及液氮罐、液氦罐或制冷機作為冷源組件。
外形與重量:設備的外形尺寸為730mm長750mm寬1265mm高,重量約為100千克。
綜上所述,CGO-2和CGO-4是兩款功能強大、高度可配置的半導體測試設備,適用于多種高精度測試應用,如電子元件的電阻、電容、電感、品質因數和頻率響應等參數的測試。它們具有高度可定制性,可以根據不同的測試需求進行配置。
2016-05-13
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