探針臺-高低溫真空光電測試系統

我司于2021年5月在吉林某所成功安裝CINDBEST CGO-4探針臺-高低溫真空光電測試系統。該探針臺變溫范圍77K~473K，溫度穩定性優于±0.1℃。配三同軸探針臂，漏電流優于100fA。配無油分子泵組，低溫下真空度優于5*10-5mbar。主要功能：利用液氦或液氮快速制冷，為光電子材料和器件提供真空和低溫測試條件。與Keithley 4200半導體特性儀匹配使用，可用于功能材料、拓撲絕緣體、納米結構和器件等變溫測試，也可以用于半導體器件、MEMS器件、超導器件與封裝前在真空下做原位測試以及高低溫的老化測試。

一、測試系統結構原理：

系統功能：用于測試半導體器件，材料，發光器件等綜合性能表征系統，可測試參數包 括：暗電流、光電流、光電壓（光伏器件）、響應速度、光譜響應、變光強的 R~P 響應等。

系統由光源、探針臺和光電測試三部分組成，如圖 1 所示。根據用戶需求，三大部分可以進行定制化開發，以實現不同光譜覆蓋范圍、不同測試環境和不同測試功能的實現。

              圖 1．測試結構原理

二、配置結構：

2.2 探針臺可選項： 低溫/常溫/高溫、有背柵/無背柵、光纖導入/無光纖、有磁場/無磁場、真空/非真空 等；

2.3 光電測試可選項： 輸出特性、轉移特性、暗電流、光電流、光電壓（光伏材料）、光響應速度、變光強測試、 電容、光譜響應等；

2.4 光路連接： 真空探針臺系統光斑尺寸一般為 mm 級別，可以擴大至 cm 級別；光纖導入真空探針臺系 統的光斑尺寸由光纖纖徑決定；非真空探針臺可實現約 500nm 光斑會聚（電極由 wirebonding 引出）；

2.5 電路連接+控制反饋： 分為手動控制、半自動、全自動（準）三種規格。目前全自動測試系統正在開發中。

三、系統技術參數：

根據用戶需求配置不同級別的光電測試系統，分為不同型號，其系統參數如下：

四、參考用戶測試數據：

（1） Nanoscale：

                  圖 2， 用戶測試數據

測試手段：室溫測試+真空探針臺（液氮開循環）+B1500+500W 氙燈+單色儀

（2） Nano Letters：

測試手段：

室溫測試+真空探針臺（液氦閉循環）+4200+超連續白光激光器+聲光晶體調制器

             圖 3，用戶測試數據參考

（3） ACS Nano（under review）：論文未發表

              圖 5. 實驗測試系統外觀圖

森東寶致力為客戶提供先進的半導體測試解決方案，森東寶，全球知名的先進晶圓探針臺制造商。